干式泵常识
Q：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
Q：涡旋干式真空泵的特点？
A：◇无油、无污染
◇低噪音、低振动
◇使用寿命长
◇空气冷却
◇配气镇阀、可抽可凝性气体
Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
◇用于液晶注入系统；
◇分子泵真空系统的前级泵；
◇真空密封泵；
◇冷泵前级；
◇用于科学和化学分析仪器；
◇真空发生器；
◇电子显微镜前级泵。
Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
A：
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项 目
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指 标
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型号
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DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
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抽气速率
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525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
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极限真空度
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≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
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噪音
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≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
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电机
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单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
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最大连续进气压力
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30,000Pa
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最大抽水蒸气能力
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23克/小时
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电机
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4芯，0.6千瓦
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电源
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三相200V(±10%)
50/60Hz(±2Hz) ≥10A
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单相100/200V(±10%)
50/60Hz(±2Hz) ≥10A
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三相220V(±10%)
50Hz(±2Hz) ≥10A
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电机速度
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1425 rpm（50 Hz）
1710 rpm（60 Hz）
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1430 rpm（50 Hz）
1710 rpm（60 Hz）
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环境温度
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5～35 ℃
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进气口直径
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NW40
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排气口直径
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NW25
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外型尺寸
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547(L)×326(W)×367(H)
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586(L)×326(W)×367(H)
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重量
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漏率
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≤6x10-2Pa L/S
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附件
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计时器(零件号502365)和说明书
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Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
◇检查确定此真空泵安全接地。
◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
◇未加风扇盖前，不要启动泵。
◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
◇必须安装电机保护开关。
DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
如果真空度上不去，更换法兰。
◇在进气口处装真空阀。
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
◇加滤网
使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。
Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
①平面放置
②避免阳光直射
③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
④通风良好
⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
⑥防潮
⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。
Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
◇检查确认此泵电源为要求值。
◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
◇不要刮碰进气口与排气口法兰
以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
Q：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
②真空管道一定不能有泄漏处。
③检查确定管道无排气压力。
④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。
Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
Q：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。
Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
Q：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
Q：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
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故障
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原因
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措施
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电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动
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电源问题或电压低于额定值
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检查电源
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泵被锁死
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与当地经销商联系修理
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真空度上不去
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法兰口被刮伤
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与当地经销商联系修理
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真空管路问题导致漏气
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检漏维修
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管路被堵
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加热除气或更换管路
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噪音与振动过大
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轴承损坏
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与当地经销商联系换轴承
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泵中进异物
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与当地经销商联系修理
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抽气口被堵
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与当地经销商联系修理
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摘要：
旋片真空泵的原理、结构、使用与维修
一、旋片真空泵的使用
1、使用前，应仔细阅读产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。按要求安装，接线，试转向。水冷泵接水。
2、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。
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